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熱式氣體治質量流量計優缺點

熱式氣體治質量流量計優點：
熱式氣體治質量流量計可量測低流速(氣體0.02~2m/s)微小流量；浸入式TMF可量測低一中偏高流速(氣體2 - 60m/s)，插入式TMF更適合于大管徑。 TMF無活動部件，無分流管的熱分布式儀表無阻流件，壓力損失很小；帶分流管的熱分布式儀表和浸入型儀表，雖在量測管道中置有阻流件，但壓力損失也不大。
熱式氣體用于性能相對可靠。與推導式質量流量儀表相比，不需溫度傳感器，壓力傳感器和計算單元等，僅有流量傳感器，組成簡單，出現故障概率小。
熱分布式儀表用于H2、N2、co、NO等接近理想氣體的雙原子氣體，不必用這些氣體專f J標定，直接就用空氣標定的儀表，實驗證明差別僅2%左右；用于Ar、He等單原子氣體則乘系數1.4即可；用于其他氣體可用比熱容換算，但偏差可能稍大些。氣體的比熱容會隨著壓力溫度而變，但在所用于的溫度壓力附近不大的變化可視為常數。
熱式氣體治質量流量計缺點：
熱式質量流量計響應慢。
被測氣體組分變化較大的場所，因c，值和熱導率變化，量測值會有較大變化而產生誤差。
對小流量而言，儀表會給被測氣體帶來相當熱量。
對于熱分布式熱式氣體質量流量計，被測氣體若在管壁沉積垢層影響量測值，必須定期清洗；對細管型儀表．更有易堵塞的缺點，一般情況下不能用于。
對脈動流在用于上將受到限制。
液體用TMF對于粘性液體在用于上亦受到限制。

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